浅谈电子万级洁净室厂房的特点
日期：2020-03-17 14:12:00发布人：本站浏览数：1307
电子万级洁净室厂房特性：洁净室等级标准高，排风量、温湿度、压差、专用设备排风系统按需可控，光照度、洁净室的风速按设计或规范可控，还有此类洁净室对静电标准要求严格。尤其对湿度的标准尤为严格。假设厂房过于干燥则易产生静电，造成CMOS集成损坏。
通常情况下，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊净化车间有相应温湿度规定）。这时候可有效地消除静电，并使人觉得舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的标准极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等做出了严格的规定。
电子万级洁净室厂房内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)。
电子万级洁净室厂房垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
电子万级洁净室厂房与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
电子万级洁净室厂房内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
电子万级洁净室厂房净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项最大值：
1、保证电子制造厂无尘室空气洁净室等级的送风量；
2、根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量；
3、向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量；
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