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半导体实验室装修规划

日期:2023-05-30 15:48:00发布人:本站浏览数:699

  半导体芯片实验室重点研究低维半导体结构材料(量子阱、量子线、量子点)、宽带隙半导体材料、半导体光伏材料、特种薄膜材料等在特殊条件下制备的材料的生长技术、结构特性以及光、电、磁、热特性。半导体实验室在电子产品、生产过程中对室内空气环境和品质的要求严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。下面介绍一下关于半导体实验室装修规划的一些要求。



  1、室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

  2、垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

  3、与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

  4、洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:

  5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

  6、保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

  7、净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量。

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