洁净室静压差的检测是为了防止室内外气流的相互作用。洁净室的静压差可以是正压，也可以是负压。

静压差检测要求洁净室洁净区的所有门都关闭，从洁净度高到低依次进行，直到检测到室外房间。静压测量管口可设置在无气流影响的洁净室中，管口表面可保持与气流平行。最好将测量数据精确记录到1.0Pa。

根据洁净室静压差的检测，测量步骤为:首先关闭洁净室的所有门，然后测量洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与室外之间的压差，并记录所有测量数据。

测量洁净室静压差后，按设计或工艺要求维持洁净室正压或负压，并与合格标准进行比较。

1、不同级别的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差应不小于5Pa；

2、洁净室与室外的静压差，不应小于10Pa；

3、空气洁净度等级高于100的单向流洁净室在开门时，门内0.6米室内工作区的粉尘浓度不应大于相应等级的粉尘浓度限值。

达不到上述标准的，应重新调整洁净室的新风量和排风量，直至合格。

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